洁净室环境颗粒
- 落尘颗粒
- AMHS运输污染
- 人员活动污染
- 设备运行污染
SOLUTION
半导体制造面临的污染挑战
晶圆表面污染
- 金属颗粒
- 非金属颗粒
- 有机污染物
- 薄膜残留
设备与工艺污染
- 腔体脱落
- 管路颗粒
- 工艺残留
- 材料析出
耗材带入污染
- 无尘布
- 手套
- 包装材料
- 化学品
SOLUTION
半导体污染控制流程
1
环境监测
洁净室颗粒监测
Fastmicro
2
颗粒发现
颗粒计数与分类
Fastmicro
3
颗粒分析
形貌与成分分析
ParticleX / Phenom
4
污染溯源
定位污染来源
Coredux
5
整改验证
清洁与耗材控制
Texwipe
6
持续监控
数据趋势与预警
FastmicroSOLUTION
解决方案
设备零部件与清洗后清洁度验证
Fastmicro Sample Scanner 通过 PMC 2.0 颗粒测量卡，把设备零部件表面的颗粒污染从"是否干净"的主观判断转成可量化、可复核的数据。PMC 可用于平面、曲面、腔体、粗糙面和难触达区域的表面取样；样品进入扫描仪后，可快速输出颗粒数量、尺寸、分布和报告结果，适用于清洗后验证、装配前放行、来料复核、供应商清洁度比对，以及 ISO 14644-9 / SEMI E195 相关的表面洁净度验证。
推荐产品组合
Fastmicro Sample Scanner / PMC 2.0 颗粒测量卡 / 洁净转运盒。
典型输出
颗粒数量、尺寸、分布位置、检测报告，以及清洗前后、批次之间和供应商之间的对比结果。
检测能力
0.5 μm PSL 等效颗粒起；225 mm² 采样区域；支持 90% 采集效率、>90% 重复性和 KLARF / CSV 输出。
应用价值
把复杂零部件表面颗粒检测纳入可量化、可复核的清洁度验证流程，减少人工判断差异。
适用对象
半导体设备关键零部件、清洗后组件、腔体部件、装配件与供应商来料；覆盖设备、组件、零部件和清洗流程等场景。
取样优势
PMC 取样适合难以直接扫描的复杂表面，并可降低对高价值精密零部件本体的干扰。
使用团队
质量团队、清洗工程师、装配团队、供应链质量与应用工程师。
使用节点
清洗后验证、装配前放行、来料复核、异常复盘与供应商清洁度比对。
CORE PRODUCT
核心产品
表面颗粒物分析系统 SAS
表面颗粒物分析系统 SAS
面向复杂零部件与高洁净表面的间接表面颗粒检测方案
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环境落尘颗粒实时监控仪
环境落尘颗粒实时监控仪
面向洁净室、关键工位和产品暴露区域的颗粒沉降率监测方案
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高真空颗粒沉降率监测仪
高真空颗粒沉降率监测仪
面向腔室内部与真空环境的颗粒沉降率监测方案
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晶圆表面颗粒缺陷检测系统
晶圆表面颗粒缺陷检测系统
面向 4 / 6 / 8 / 12 英寸晶圆的高通量直接表面颗粒缺陷检测系统
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自动化 SEM-EDS 颗粒分析系统
ParticleX
用于颗粒形貌观察、元素成分分析和来源线索判断的自动化颗粒分析平台
查看产品详情Customer Case
客户案例
ASML
Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”
SERVICE
服务
ParticleX 系统提供高度灵活的定制化服务，确保分析流程、分类规则和数据报告都能精准匹配您的特定需求。其核心在于一个高度开放的软件平台，让您可以根据具体的工艺和应用场景对系统进行量身打造。
自定义识别与分类规则
这是系统定制化的核心，可以不依赖出厂预设，根据需求调整或新建分析流程。
定制化数据报告与可视化
系统会自动将复杂的数据转化为清晰、直观的报告，且报告内容和格式均可定制。
标准化报告一键生成
系统深度集成了行业标准，可以一键式生成规范格式的权威报告。
个性化用户界面与工作流程
可将系统锁定在全自动模式进行日常质检，一键切换为手动电镜模式进行失效分析，实现一机多用。
STRATEGIC SUPPLIER
战略供应商
赋能极限制造
Fastmicro 是一家专注于表面颗粒测量技术的创新型企业，于 2019 年成立于荷兰埃因霍温，致力于通过快速、精准的定量化检测推动清洁控制领域的突破，现已成长为全球领先的洁净度管理解决方案供应商，其产品在七个国家落地应用，覆盖高科技产业链的各个环节。通过深度理解客户需求，Fastmicro 持续优化其系统性能，助力半导体、精密制造等高技术行业满足严苛的洁净标准，推动产业链整体质量提升。
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