Fastmicro 样品扫描仪

表面颗粒物分析系统 SAS

面向复杂零部件与高洁净表面的间接表面颗粒检测方案

Fastmicro 样品扫描仪通过“表面取样 + 快速扫描”的方式，为复杂表面、难触达位置和清洗后部件提供可量化、可重复的颗粒检测结果。适用于半导体设备零部件、装配件、清洗后部件以及其他不便直接进入检测系统的对象。

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表面颗粒物分析系统 SAS

产品概述典型应用用户故事产品参数下载中心相关产品

PRODUCT OVERVIEW

产品概述

适用于不便直接进入大型检测系统的复杂对象，可输出标准化、可追溯的表面颗粒检测结果。

适用对象

半导体设备零部件
清洗后部件
复杂表面、粗糙表面与曲面
装配件与关键高洁净组件

典型应用

清洗验证
装配前污染检查
供应商质量验证
表面颗粒数量、尺寸与位置分析

技术特点

数字化颗粒污染控制
亚微米级颗粒快速检测
专利光散射检测技术

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

产品介绍

结合取样、预扫描与结果输出流程，快速完成复杂表面的颗粒验证与结果复核。

TYPICAL APPLICATION

典型应用

在目标表面进行颗粒取样

将样品放入设备，完成颗粒检测与测量

将样品放入设备，完成颗粒检测与测量

在软件中查看数量、尺寸与位置结果

在软件中查看数量、尺寸与位置结果

报告示例：用于质量判断与结果沟通

报告示例：用于质量判断与结果沟通

设备零部件表面应用场景

CUSTOMER STORY

用户故事

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”

PRODUCT PARAMETER

产品参数

总体指标
检测起点	0.5 µm PSL 等效颗粒
适用标准场景	表面洁净度验证相关应用
样品面积	225 mm²
结果输出	颗粒数量、尺寸与位置
配套附件	取样器 / PMC 颗粒测量卡 / 夹具

DOWNLOAD CENTER

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表面颗粒物分析系统 SAS

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