环境落尘颗粒实时监控仪

面向洁净室、关键工位和产品暴露区域的颗粒沉降率监测方案

PFS 颗粒沉降监测系统用于监测颗粒沉降率。与空气粒子计数不同，PFS 更关注颗粒是否实际沉降到关键表面，适用于洁净室验证、关键工作区风险评估和污染改善闭环。

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PRODUCT OVERVIEW

产品概述

适用对象

洁净室关键工位
产品暴露区域
工艺窗口
运输与装配区域

典型应用

洁净室验证
关键表面沉降风险评估
污染改善闭环
关键工作区长期监测

技术特点

2 英寸视野
紧凑尺寸：300 × 100 × 200 mm（长×宽×高）
包含 Fastmicro eBox
为什么要测颗粒沉降率？关键应用表面的过程验证，才是判断污染控制效果的核心指标。

产品介绍

通过连续颗粒沉降率监测流程，帮助客户把环境洁净度管理进一步延伸到关键表面的实际污染风险判断。

产品介绍

通过连续颗粒沉降率监测流程，帮助客户把环境洁净度管理进一步延伸到关键表面的实际污染风险判断。

产品介绍

通过连续颗粒沉降率监测流程，帮助客户把环境洁净度管理进一步延伸到关键表面的实际污染风险判断。

产品介绍

通过连续颗粒沉降率监测流程，帮助客户把环境洁净度管理进一步延伸到关键表面的实际污染风险判断。

TYPICAL APPLICATION

典型应用

洁净室与关键工作区监测场景

与高真空监测方向形成互补

CUSTOMER STORY

用户故事

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”

PRODUCT PARAMETER

产品参数

总体指标
监测对象	关键表面颗粒沉降率
适用场景	洁净室、关键工位、产品暴露区域
监测方向	颗粒沉降率监测
产品定位	环境落尘颗粒实时监控仪

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