适用对象
- 真空工具
- 设备内部关键位置
- 真空腔体
- 系统集成与高洁净设备方向
CUSTOMER STORY
用户故事
Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”
PRODUCT OVERVIEW
产品概述
典型应用
- 腔室内部污染监测
- 真空环境颗粒沉降率监测
- 设备验证
- 维护周期优化
TYPICAL APPLICATION
典型应用
高真空监测产品外观示意
与环境落尘颗粒实时监控方向形成互补
DOWNLOAD CENTER
下载中心
表面颗粒物分析系统 SAS
Fastmicro 样品扫描仪通过“表面取样 + 快速扫描”的方式，为复杂表面、难触达位置和清洗后部件提供可量化、可重复的颗粒检测结果。适用于半导体设备零部件、装配件、清洗后部件以及其他不便直接进入检测系统的对象。
环境落尘颗粒实时监控仪
PFS 颗粒沉降监测系统用于监测颗粒沉降率。与空气粒子计数不同，PFS 更关注颗粒是否实际沉降到关键表面，适用于洁净室验证、关键工作区风险评估和污染改善闭环。
晶圆表面颗粒缺陷检测系统
适用于晶圆来料检测、制程监控、清洗后验证与缺陷定位分析。系统可为工艺、质量和设备团队提供颗粒数量、尺寸与位置数据，帮助更快识别污染风险并支撑后续分析流程。
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