PRODUCT OVERVIEW
TYPICAL APPLICATION
CUSTOMER STORY
Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”
PRODUCT PARAMETER
| 总体指标 | |
|---|---|
| 检测范围 | 0.1 µm PSL 等效颗粒起 |
| 检测通量 | 最高可达 400 片 / 小时 |
| 位置精度 | 40 µm |
| 位置重复性 | 15 µm |
| 支持晶圆尺寸 | 4 - 12 英寸 |
| 检测能力 | 支持与晶圆正反面相关的检测应用 |
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Fastmicro 样品扫描仪通过“表面取样 + 快速扫描”的方式，为复杂表面、难触达位置和清洗后部件提供可量化、可重复的颗粒检测结果。适用于半导体设备零部件、装配件、清洗后部件以及其他不便直接进入检测系统的对象。
PFS 颗粒沉降监测系统用于监测颗粒沉降率。与空气粒子计数不同，PFS 更关注颗粒是否实际沉降到关键表面，适用于洁净室验证、关键工作区风险评估和污染改善闭环。
高真空颗粒沉降监测系统面向腔室内部、真空腔体和高洁净设备相关场景，用于监测关键位置的颗粒沉降率，帮助客户理解腔室内污染风险，并支撑设备验证、维护优化和系统设计改进。
适用于晶圆来料检测、制程监控、清洗后验证与缺陷定位分析。系统可为工艺、质量和设备团队提供颗粒数量、尺寸与位置数据，帮助更快识别污染风险并支撑后续分析流程。
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