产品简介
- 该类平台通过 SEM 获取颗粒形貌信息，并通过 EDS 获取元素成分信息，可区分金属、陶瓷、硅/氧化物、有机物、纤维及其他未知颗粒。结合自动化颗粒搜索、分类与报告输出能力，可与 Fastmicro 的颗粒检测、缺陷定位和沉降监测形成互补。
PRODUCT OVERVIEW
产品概述
Phenom ParticleX / Phenom SEM-EDS 用于异常颗粒的形貌观察、元素成分分析和颗粒分类。对于已通过 Fastmicro 发现并定位的颗粒，可进一步确认颗粒形貌、元素组成和可能来源线索。
典型价值
- 支持异常颗粒复核
- 输出元素成分证据
- 形成颗粒分类结果
- 为来源排查提供形貌和元素证据
- 可与 Fastmicro 检测结果结合使用
核心特点
- 自动化颗粒搜索
- SEM 高分辨率形貌观察
- EDS 元素成分分析
- 颗粒分类
- 报告输出
- 支持来源排查
TYPICAL APPLICATION
典型应用
自动杂质颗粒分类
自动杂质颗粒识别
自动高清图像采集
自动能谱成分分析
滤膜类样品夹具，用于滤膜颗粒分析
ParticleX 颗粒/清洁度分析应用界面
PRODUCT PARAMETER
产品参数
| 总体指标 | |
|---|---|
| 产品全称 | ParticleX 自动化 SEM-EDS 颗粒分析系统 |
| 光学放大 | 3-16 X |
| 电子光学放大 | 200,000 X |
| 分辨率 | 优于 8 nm |
| 电子枪 | 优于 3000 小时 CeB6 灯丝 |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 基本模式：2kV, 5kV, 10kV, 15kV, 20kV 高级模式：4.8 KV - 20.5 KV 连续可调 |
| 真空模式 | 低 - 中 - 高三种模式 |
| 探测器 | 背散射探测器 二次电子探测器（选配） 能谱探测器 |
| 全自动功能 | 自动化 SEM-EDS 颗粒分析 |
DOWNLOAD CENTER
下载中心
表面颗粒物分析系统 SAS
Fastmicro 样品扫描仪通过“表面取样 + 快速扫描”的方式，为复杂表面、难触达位置和清洗后部件提供可量化、可重复的颗粒检测结果。适用于半导体设备零部件、装配件、清洗后部件以及其他不便直接进入检测系统的对象。
环境落尘颗粒实时监控仪
PFS 颗粒沉降监测系统用于监测颗粒沉降率。与空气粒子计数不同，PFS 更关注颗粒是否实际沉降到关键表面，适用于洁净室验证、关键工作区风险评估和污染改善闭环。
高真空颗粒沉降率监测仪
高真空颗粒沉降监测系统面向腔室内部、真空腔体和高洁净设备相关场景，用于监测关键位置的颗粒沉降率，帮助客户理解腔室内污染风险，并支撑设备验证、维护优化和系统设计改进。
晶圆表面颗粒缺陷检测系统
适用于晶圆来料检测、制程监控、清洗后验证与缺陷定位分析。系统可为工艺、质量和设备团队提供颗粒数量、尺寸与位置数据，帮助更快识别污染风险并支撑后续分析流程。
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