Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪 PFS，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 μm 以上颗粒。结合飞纳电镜能谱一体机，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。
Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪 PFS，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 μm 以上颗粒。结合飞纳电镜能谱一体机，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。