用户专访｜库力索法公司使用飞纳台式扫描电镜对步进式曝光机进行快速检验

【用户专访】库力索法公司使用飞纳台式扫描电镜对步进式曝光机进行快速检验。步进式曝光机需要精确地将图案投影到硅片上进行光刻过程，库力索法借助 Phenom XL 对大量的数据进行验证，以确保步进式曝光机能够按照设计要求正常工作。