实时监控洁净室颗粒沉积速率

实时监控洁净室颗粒沉积速率，精准测量 0.5 um 以上颗粒，结合 SEM+EDX，精确分析颗粒微观形态和成分组成，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。