适用对象
- 汽车零部件清洁度检测
- 电池材料异物分析
- 半导体污染分析
- 工业质量控制与失效分析
PRODUCT OVERVIEW
产品概述
通过光镜坐标与 SEM 样品台坐标关联，系统可将光学显微镜中筛选出的目标颗粒快速转移到扫描电镜分析位置，并支持 SEM 图像采集、目标确认、EDS 点扫或选区分析，大幅减少人工查找、手动定位和 重复记录工作。
典型应用
- 光学颗粒快速筛选
- SEM/EDS 精准定位分析
- 污染颗粒来源追溯
- 材料失效原因分析
技术特点
- OM-SEM-EDS 关联分析
- 光镜颗粒自动定位
- EDS 点扫/选区/面扫分析
- 数据关联管理与报告输出
PRODUCT PARAMETER
产品参数
| 总体指标 | |
|---|---|
| 产品全称 | 光电关联软件分析系统 |
| 英文名称 | Correlative Particle Analysis Software |
| 产品类型 | OM-SEM-EDS 关联分析软件 |
| 适配平台 | Phenom SEM 平台 |
| 核心功能 | 光镜数据导入、SEM 定位、图像辅助确认、EDS 分析、报告输出 |
| 光学数据 | 支持颗粒编号、坐标、尺寸、面积、周长、类型等数据管理 |
| 图像功能 | OM 图像预览、SEM Live、Freeze、颗粒识别辅助、图像关联显示 |
| 坐标功能 | 参考点标定、OM 坐标转换、Phenom 样品台坐标映射 |
| 目标确认 | 支持 OM 图像、SEM 图像与颗粒信息关联查看，辅助用户确认目标颗粒 |
| EDS 模式 | Spot 点扫、Region 选区、Map 分析 |
| 定量结果 | 元素识别、质量比、原子比 |
| 数据输出 | SEM 图像、MSA 谱图、PNG 谱图、JSON、CSV、DOCX 报告 |
| 典型应用 | 清洁度检测、颗粒污染分析、材料复检、失效分析、质量控制 |
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